1。常規(guī)金屬氧化物靶材：氧化鎂靶材MgO，氧化錳靶材MnO，氧化鐵靶材FeO，氧化鈷靶材CoO，氧化鎳靶材NiO，氧化銅靶材CuO，氧化鋅靶材ZnO，氧化鉛靶材PdO，氧化錫靶材SnO，氧化鋁靶材Al2O3。
2。稀有金屬氧化物靶材：氧化銦靶材InO2，氧化鍺靶材GeO2，氧化鎵靶材Ga2O3，氧化銻靶材Sb2O3，氧化鉍靶材Bi2O3，氧化鎘靶材CdO，氧化鈦靶材TiO，氧化鋯靶材ZrO2，氧化鉿靶材HfO2，氧化釩靶材V2O5，氧化鈮靶材Nb2O5，氧化鉭靶材Ta2O5，氧化鉻靶材CrO，氧化鉬靶材MOO3，氧化鎢靶材WO3，氧化錸靶材ReO，氧化碲靶材TeO2，氧化硼靶材B2O3，氧化硒靶材SeO2。
3。貴金屬氧化物靶材：氧化金靶材AuO，氧化鈀靶材PdO，氧化鉑靶材PtO2，氧化銥靶材IrO2，氧化釕靶材RuO2，氧化銠靶材Rh2O3。
4。稀土金屬氧化物：氧化鑭靶La2O3、氧化鈰靶CeO2、氧化鐠靶Pr6O11、氧化釹靶Nd2O3、氧化鏑靶材Dy2O3、氧化釤靶Sm2O3、氧化鉺Er2O3靶、氧化銩靶Tm2O3、氧化鈥靶Ho2O3、氧化銪靶Eu2O3、氧化鐿靶材Yb2O3、氧化镥靶材Lu2O3、氧化釔靶材Y2O3、氧化鈧靶材Sc2O3、氧化釓靶材Gd2O3、氧化鋱靶材Tb2O3稀土陶瓷靶材及稀土摻雜靶材。
5。碲化物靶材：碲化銅靶材CuTe、碲化鋅靶材ZnTe、碲化鉛靶材PbTe、碲化錫靶材、碲化銦靶材In2Te3、碲化銻靶材Sb2Te3、碲化鉍靶材Bi2Te3、碲化鍺靶材GeTe2碲化鐵靶材FeTe、碲化鎘靶材CdTe。
6。硒化物靶材：硒化銅靶材CuSe、硒化亞銅靶材Cu2Se、硒化鋅靶材Zn Se、硒化鉛靶材Pb Se、硒化錫靶材SnSe、硒化銦靶材In2 Se 3、硒化銻靶材Sb2 Se 3、硒化鉍靶材Bi2 Se 3、硒化鍺靶材Ge Se 2、硒化鎵靶材Ga2Se3、硒化鐵靶材Fe Se、硒化鈷靶材CoSe2、硒化鎳靶材NiSe2、硒化鈦靶材TiSe、硒化鉿靶材HfSe、硒化鎘靶材CdSe、硒化鉻靶材CrSe、硒化鉭靶材TaSe。
7。硫化物靶材：硫化鋅靶材ZnS、硫化銅靶材CuS、硫化鎘靶材CdS、硫化銦靶材InS、硫化鉬靶材MoS2、硫化鐵靶材FeS、硫化鉛靶材PbS、硫化錫靶材SnS、硫化鎳靶材NiS、硫化鉭靶材TaS2、硫化鉍靶材BiS、硫化銻靶材SbS、硫化鍺靶材GeS、硫化鐵靶材FeS2。
8。氮化物靶材：氮化鋁靶材AlN、氮化鈦靶材TiN、氮化鎵靶材GaN、氮化鎂靶材MgN、氮化硅靶材Si3N4、氮化硼靶材BN、氮化銅靶材CuN、氮化鈮靶材NbN、氮化鉭靶材TaN、氮化鉻靶材CrN、氮化鋯靶材ZrN。氮化鈣靶材CaN。
9。碳化物靶材：碳化硅靶材SiC、碳化硼靶材BC、碳化鐵靶材FeC、碳化鈦靶材TiC、碳化鉭靶材TaC、碳化鉻靶材CrC、碳化鉿靶材HfC、碳化鋯靶材ZrC、碳化鎢靶材WC、碳化鈮靶材NbC、碳化釩靶材VC、碳化鈷靶材CoC。
10。硼化物靶材：硼化鑭靶材LaB6、硼化鈰靶材CeB6、硼化鋱靶材TbB6、硼化銪靶材EuB6、硼化釤靶材SmB6、硼化鉿靶材HfB、硼化鈦靶材TiB、硼化鉻靶材CrB、硼化釩靶材VB、硼化鋯靶材ZrB、硼化鐵靶材FeB、硼化鉭靶材TaB、硼化鈮靶材NbB、硼化鎳靶材NiB、硼化鉬靶材MoB、硼化硅靶材SiB、硼化鋁靶材AlB、硼化鎂靶材MgB、硼化鋇靶材BaB、硼化鎢靶材WB、硼化鈷靶材CoB、硼化鈣靶材CaB、硼化鎳靶材NiB。
11。氟化物靶材：氟化釓靶材GdF、氟化釔靶材YF、氟化鑭靶材LaF、氟化鐿靶材YbF、氟化鉺靶材ErF、氟化鈥靶材HoF、氟化鈰靶材CeF、氟化鋱靶材TbF、氟化銪靶材EuF、氟化鐠靶材PrF、氟化釤SmF、氟化擼靶材LuF、氟化鏑靶材DyF、氟化釹靶材NdF、氟化鈧靶材ScF、氟化鎂靶材MgF、氟化鋇靶材BaF、氟化納靶材NaF、氟化鋁靶材AlF、氟化鈦靶材TiF。
12。硅化物靶材：硅化鋁靶材AlSi、硅化鉻靶材CrSi、硅化鎳靶材NiSi、硅化鎢靶材WSi、硅化鉿靶材HfSi、硅化鋯靶材ZrSi、硅化鈮靶材NbSi、硅化釩靶材VSi、硅化錳靶材MnSi、硅化鉬靶材MoSi、硅化鎂靶材MgSi、硅化鈦靶材TiSi、硅化鐵靶材FeSi、硅化鈣靶材CaSi。
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